半导体专用机型，针对半导体及MiniLed/ MicroLED的超细微开孔方式，以及开孔数较多的特点，在光学系统上进行针对性提升、提高分辨能力、降低光学误差、提升检测算法能力、提高计算能力等多项针对性优化；

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